غرامة موحدة سماكة فيلم 3C مكونات إلكترونية فراغ PVD المغنطرون الاخرق طلاء المعدات

مبدأ العمل: ترسب الترسبات هو ترسب البخار الفعلي (PVD) لترسيب الأغشية الرقيقة عن طريق الإخرق. يتضمن ذلك إخراج مادة من "هدف" يمثل مصدرًا لـ "ركيزة" مثل رقاقة السيليكون. إعادة التعيين هي إعادة انبعاث المواد المودعة أثناء عملية الترسيب عن طريق القصف الأيوني أو الذري. تحتوي الذرات المتناثرة التي يتم إخراجها من الهدف على توزيع واسع للطاقة ، يصل عادة إلى عشرات من الجهد الكهربي (100000 كلفن). يمكن أن تتأين الأيونات الممزقة (عادةً جزء صغير فقط من الجسيمات المقذوفة - بنسبة 1 في المائة) - صواريخ باليستية من الهدف في خطوط مستقيمة وتؤثر بشكل نشط على الركائز أو الحجرة الفراغية (التي تسبب التنفّس). بدلاً من ذلك ، عند ضغوط الغاز الأعلى ، تصطدم الأيونات مع ذرات الغاز التي تعمل كمشرف وتتحرك بشكل منتشر ، وتصل إلى الركائز أو جدار غرفة الفراغ وتتكثف بعد خضوعها لمسيرة عشوائية. يمكن الوصول إلى المجموعة الكاملة بدءًا من التأثير الباليستي عالي الطاقة إلى الحركة الحرارية منخفضة الطاقة عن طريق تغيير ضغط الغاز في الخلفية. غالبًا ما يكون الغاز المفلت هو غاز خامل مثل الأرجون. من أجل نقل الزخم بكفاءة ، يجب أن يكون الوزن الذري للغاز المتخبط قريباً من الوزن الذري للهدف ، لذا فإن العناصر الخفيفة المتقشرة نيون هي الأفضل ، بينما يتم استخدام الكريبتون أو زينون للعناصر الثقيلة. يمكن أيضًا استخدام الغازات التفاعلية في ترطيب المركبات. يمكن تشكيل المركب على السطح المستهدف أو أثناء الطيران أو على الركيزة وفقًا لمعايير العملية. إن توفر العديد من المعلمات التي تتحكم في ترسبات الترسبات يجعلها عملية معقدة ، ولكنها تتيح أيضًا للخبراء درجة كبيرة من التحكم في نمو البنية المجهرية للفيلم.

الميزة: من السهل السيطرة على سمك الفيلم واللون ، والجسيمات فيلم ناعم وسلس

التطبيق: 3C المنتجات ، ووتش ، والمجوهرات ، الخ

عملية خضراء: لا يوجد غاز ضار ، لا مياه عادمة ، لا توجد نفايات.